Александр Иванович Шокин. Портрет на фоне эпохи
Шрифт:
В начале 1965 года коллектив НИИМЭ уже способен был к каким-то конкретным действиям на ниве микроэлектроники. Но с чего начинать? Первые шаги реальных действий института полностью определялись А.И. Шокиным. Прежде всего он предложил перевести всех в Зеленоград. Здание НИИМЭ не готово. Был выделен один пролет в цехе завода «Элион» – примерно 1000 кв. м. Расположились прямо в цехе за рабочими столами, работаем. Над чем? Задача определена А.И. Шокиным: надо создать цех по производству бескорпусного «планарного» транзистора «Плоскость» (разработка НИИ «Пульсар»). В этой разработке аккумулирован отечественный опыт планарной технологии на кремнии, основные процессы которого пригодны и для изготовления интегральных схем. Для цеха выделен один пролет в «чистом» зале завода «Компонент». Примерно 1000 кв. м, рядом со строящимся зданием НИИМЭ.
Где взять оборудование для цеха? Совместно с нашими инженерами специалисты НИИ точного машиностроения
В 1966 году здание НИИМЭ сдали в эксплуатацию, а его разработчиками были созданы технологии и начат выпуск первых серий полупроводниковых микросхем «Иртыш» (дифференциальная пара транзисторов), «Логика», «Микроватт».
303
Валиев К.А. НИИ молекулярной электроники: годы рождения и развития / НИИМЭ – «Микрон». 35 лет. События. Люди. – М., Зеленоград: Микрон-принт, 1999. – 280 с.
Стремление А.И. к скорейшему внедрению разработок в практику и стиль его работы на примере полупроводниковых приборов и интегральных схем прослеживаются особенно хорошо.
Председатель Совмина заинтересовался микроэлектроникой
Одной из главных и одновременно одной из самых сложных задач было создание специального технологического оборудования, особенно оптико-механического. Планарная технология построена на многократном повторении фотолитографического процесса, в результате которого на кремниевой пластине создаются защищенные и незащищенные фоторезистом области. Последние подвергаются соответствующей технологической обработке, после которой вновь поступают на следующий цикл фотолитографии. При этом точности совмещения изображений в последующих циклах должны быть много меньше технологических минимальных размеров создаваемого на кремниевой пластине элемента. В 1968 году они составляли 8—10 мкм, а в 1970 – уже 2–5 мкм. Естественно, оптико-механическое оборудование, в частности фотоштампы, установки совмещения и экспонирования пластин, обеспечивающее фотолитографические процессы с такой точностью, попадало под торговое эмбарго западных стран. Отечественные же оптики-механики из Министерства оборонной промышленности (ГОИ и ЛОМО) под любыми предлогами отказывались от разработки нужных систем.
Поэтому решение этой задачи было возложено на вновь организованное в составе Центра КБ-5 в Минске. Впоследствии оно стало самостоятельным и получило название Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ). Первым его директором, И.М. Глазковым, был создан замечательный коллектив, прекрасное оптическое и механическое производство. К созданию оптико-механического оборудования была привлечена также широко известная фирма «Карл Цейс, Йена» (ГДР). В кратчайшие сроки КБТЭМ было оснащено самым современным зарубежным и отечественным обрабатывающим оборудованием, что в эпоху всеобщего распределения было беспрецедентным (вот это была настоящая поддержка!). Начав практически с нуля, предприятие создало и приступило уже в 1963 г. к серийному производству микроманипулятора для разварки выводов ММ-1, явившегося базой для последующих разработок микроманипуляторов, сборочного и фотолитографического оборудования. В последующие два года создаются: гамма установок сборки серии «Контакт» [304] , первые отечественные установки совмещения и экспонирования, фотокамеры, фотоповторители, координатографы. Параллельно осуществлялось их серийное производство.
304
Аналог «Green Line» известной американской фирмы K&S. Эта серия оказалась долгожителем и изготавливалась в течение двух десятилетий.
Очень скоро из Зеленограда пошли сотни типов материалов: металлических, полупроводниковых, изолирующих, жидкостей, газов, сложных химических соединений, стекол, керамик и пр. До этого все они или вообще не производились отечественной промышленностью, или по чистоте и другим свойствам совершенно не соответствовали требованиям электроники.
Все это делали люди, собранные в Зеленоград со всей страны из многих научных предприятий и учреждений. Сюда их привлекали возможность получения квартиры, московской прописки и, конечно, интересная работа в самом перспективном направлении науки. Правда, настоящих специалистов в области микроэлектроники еще практически не было, да и не могло быть. Одни становились ими в процессе работы, другие – только начали учиться в вузах по вновь открытым специальностям. Наиболее подготовленные ученые и инженеры, операторы и наладчики пришли из НИИ-35 и НИИ-311 («Сапфир»). Самый многочисленный «десант» был с Томилинского
НИИ «Пульсар», НИИМЭ, Воронежское КБ разработали базовые маршруты планарной технологии для производства ИС и планарных транзисторов. В дальнейшем по их техническому заданию НИИТМ (директор В.В. Савин), КБТЭМ, НИИ технологии и организации производства в Горьком (НИИТОП, директор А.Г. Салин), НИИ полупроводникового машиностроения в Воронеже (НИИПМ, директор К.А. Лаврентьев), НИИ «Электронстандарт» (директор Гаген) разработали комплект технологического оборудования «Корунд», обеспечивающий массовый выпуск ИС и полупроводниковых приборов по планарной технологии.
Новое оборудование для производства электронных приборов сочетало в себе точную механику, оптику и автоматику, способную работать при высокой, или, наоборот, очень низкой температуре или в агрессивных средах, обеспечивать глубокий вакуум, позволяло вести обработку деталей различным излучением, и т. д.
Хотя специалистов нужного профиля для электронной промышленности уже начал готовить МИЭМ [305] , деятельность которого определялась такими известными учеными, как Н.Д. Девятков, С.А. Векшинский, В.С. Семенихин, С.Н. Вернов, и др., А.И. все же считал необходимым, чтобы подготовка специалистов микроэлектроники проходила как можно ближе к Научному центру. Ему мечталось создать учебный институт в самом Зеленограде. Наконец и эта мысль перешла в реальность – постановлением СМ СССР от 26 ноября 1965 года было образовано высшее учебное заведение по подготовке специалистов в области микроэлектроники – Московский институт электронной техники МИЭТ. Вуз начал функционировать по приказу Министерства высшего и среднего специального образования РСФСР 9 декабря 1965 года.
305
На 1978 г. на факультетах полупроводникового и электровакуумного машиностроения, автоматики и телемеханики, радиотехнический, прикладной математики здесь обучались 6,5 тысячи студентов, работали 606 преподавателей и научных сотрудников.
Комплексу МИЭТ А.И. уделял особое внимание. Его внешний облик (архитекторы Ф.А. Новиков и Г.Е. Саевич) – стены из красного отделочного кирпича, что было в те годы весьма необычно, и структура из отдельных невысоких зданий, соединенных переходами, – были вынесены А.И. из впечатлений от виденных когда-то английских и американских университетов. Здесь все получилось удачно. Для украшения интерьеров МИЭТа барельефами был приглашен скульптор Эрнст Неизвестный. Невзирая на то, что известность его имела довольно скандальный оттенок после столкновения с Хрущевым на выставке в Манеже и последовавшей разгромной критики в прессе, министр счел необходимым самому встретиться с Неизвестным и выкроил для этого время. Обсудив проект, он дал добро на заказ. Надо думать, что получение этого заказа хорошо поддержало скульптора в то время. Давно ставший маститым, мэтр, в перестроечные годы вновь появившийся в нашей стране после длительного отсутствия, вспомнил в газетном интервью об одном страшно «секретном» объекте, на котором ему довелось однажды работать, и – довольно уважительно – о своем тогдашнем заказчике. Для Александра Ивановича было естественным оценивать людей в первую очередь по таланту и работоспособности.
Строительство комплекса зданий МИЭТа было завершено в семидесятом году, а еще через десять лет здесь обучалось уже около шести тысяч студентов и ежегодно выпускалось около 700 специалистов. Помимо основных факультетов – физико-технического, физико-химического, микроприборов и технической кибернетики, электронного машиностроения, были еще вечерний и факультет повышения квалификации инженерно-технических работников, а также подготовительное отделение и курсы, аспирантура, 29 кафедр, 6 отраслевых лабораторий, вычислительный центр, телецентр, библиотека с четырьмя сотнями тысяч томов и редакционно-издательский отдел с множительной базой. Подготовкой специалистов занимались 535 преподавателей и научных сотрудников, среди которых было 2 члена-корреспондента АН СССР, 37 профессоров и докторов, 240 доцентов и кандидатов наук, 10 лауреатов Ленинской и Государственной премий СССР.
А.И. Шокин воспринимал электронику как единое целое и помнил обо всех ее областях, поэтому в новом городе не было забыто строительство предприятий другого, не микроэлектронного профиля: НИИ пьезотехники и КБ источников высокоинтенсивного света.
Каждому из научно-исследовательских институтов Зеленограда и даже МИЭТу был придан свой опытный завод. Здесь А.И. был верен своему подходу к связи науки с производством, и создававшиеся заводы назвать небольшими было бы трудно. Таким образом, при создании уникального, не имеющего аналогов в мировой практике Центра микроэлектроники были созданы мощные научно-производственные комплексы, в том числе по технологическому оборудованию и материаловедению. По существу, и «Ангстрем», и «Микрон», и «Элма» с самого начала были и остаются ведущими предприятиями отечественной микроэлектроники.